臭氧检测仪主要由低压紫外灯，光波过滤器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、样品光电传感器、采样光电传感器、输出显示、电路部件构成。
臭氧检测仪采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的计算，就能得出臭氧浓度大小。
主要根据臭氧对254nm波长的紫外光存在*大吸收，并由兰伯特-比尔定律光强与浓度的对数值成正比原理设计而成，采用了经典的双光路系统，精度达±0.1mg/L，测量范围由0.1~200mg/L。适用于高浓度的臭氧气体测量。用于臭氧发生器出口的浓度测量，可连续在线检测臭氧发生器出口管道中臭氧浓度。主要用于连续检测各种工业环境下的臭氧气体，也可用于检测运行中的管道、容器等环境的臭氧气体。
