臭氧监测仪就是采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，
臭氧监测仪用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的计算，就能得出臭氧浓度大小。
臭氧是氧气的同素异形体，它是一种具有特殊气味的淡蓝色气体。分子结构呈三角形，键角为116°，其密度是氧气的1.5倍，在水中的溶解度是氧气的10倍。臭氧是一种强氧化剂，它在水中的氧化还原电位为2.07V，仅次于氟（2.5V），其氧化能力高于氯（1.36V）和二氧化氯（1.5V），能破坏分解细菌的细胞壁，很快地扩散透进细胞内，氧化分解细菌内部氧化葡萄糖所必须的葡萄糖氧化酶等，也可以直接与细菌、病毒发生作用，破坏细胞、核糖核酸（RNA），分解脱氧核糖核酸（DNA）、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌的代谢和繁殖过程遭到破坏。
臭氧监测仪保养的详细步骤
一、臭氧监测仪外表擦拭步骤：
1.先用干细棉布或擦拭纸擦拭仪器外表，以擦拭其灰尘或油污等，小心注意其仪器外表勿受伤。
2.再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭仪器外表，尤其金属及非金属表面。
二、臭氧监测仪显示屏擦拭步骤：
1.先用拭镜纸轻轻擦拭镜面表面，勿用力以免伤及镜面。
2.再用棉花棒沾工业用酒精，轻轻擦拭镜面表面，并需等酒精挥发后，再装回去。
3.镜面擦拭可区分成校正玻璃片及镜头内透镜组，由于灰尘粒子会造成成像的黑点，镜面擦拭至为重要，装置后需重新借着影像观察擦拭结果。
三、v转动部分擦拭步骤：
1.先用干细棉布或擦拭纸擦拭磨擦表面，以擦拭其灰尘或油污等。
2.也可使用吹气壶，将灰尘吹掉。
3.必要时，可再用干净细干棉布沾上工业用酒精或润滑油，擦拭磨擦表面。
